Sumitomo Heavy Industries käynnistää sic -ionin implantaatiokoneet Japanissa
Ulkomaisten tiedotusvälineiden mukaan Sumitomo Heavy Industries -yhtiö Sumitomo Ion Technology käynnistää ionin implantaatiokoneet piiharbidien (sic) voimapuolijohteiden markkinoilla jo vuonna 2025.
Suurin osa SIC-prosessissa käytetyistä laitteista on sama kuin perinteiset piin tuotantolinjat, mutta tarvitaan sic, SIC: n korkean kovuuden vuoksi, kuten korkean lämpötilan ionin implantointikoneet, hiilikalvojen sputterointikoneet, massatuotanto korkea-Empertuurin hehkutusuunit jne. Niiden joukossa korkean lämpötilan ionin implantointikoneiden läsnäolo on tärkeä kriteeri sic-tuotantolinjojen mittaamiseksi.
Raportin mukaan ionin implantaatiolaitteet injektoivat epäpuhtausioneja, kuten fosforia ja booria kiekkoon, sen sähköisten ominaisuuksien muuttamiseksi.Piilekkojen lämmönkäsittely suoritetaan ionin implantaation jälkeen kiteisyyden palauttamiseksi.SiC: lle on kuitenkin vaikea palauttaa kiteisyys pelkästään lämpökäsittelyn kautta ionin implantaation jälkeen.Tavallinen menetelmä on lämmittää sic -siru noin 500 celsiusasteeseen, sitten suorittaa ionin implantaatio ja lämpökäsittely.Monimutkaisen käyttöprosessinsa vuoksi sic -puolijohdeilla on alhaisempi saanto kuin pii -puolijohteet.
Tällä kertaa Sumitomo Heavy Industries -teknologia aikoo parantaa sen lanseerattujen tuotteiden ionin implantaatiomenetelmää ylläpitäen samalla sic -laatua ja kasvavaa tuotantoa.
Tekijöiden, kuten korkean teknisen vaikeuden ja vaikean prosessin validoinnin, takia ionin implantaatiokoneteollisuudessa on korkeat kilpailukykyiset esteet ja korkean teollisuuden keskittyminen.Kaiken kaikkiaan koko markkinat monopolisoivat pääasiassa American Applied Materials Company ja American Axcelis Company, joiden osuus on yli 70% maailmanmarkkinoista.
Trendforce Consultingin viimeisimmät tiedot osoittavat, että SiC kiihdyttää edelleen sen tunkeutumista sovellusmarkkinoilla, kuten autoilla ja uusiutuva energia, jos tehotiheys ja tehokkuus ovat erittäin tärkeitä.Markkinoiden kokonaiskysyntä ylläpitää kasvusuuntausta tulevina vuosina, ja arvioidaan, että Globaalin SIC Power -laitteiden markkinoiden koon odotetaan saavuttavan 9,17 miljardia Yhdysvaltain dollaria vuonna 2028.